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千级洁净室工程

我公司公司承建10-100000级千级洁净室工程、无菌洁净厂房、空调净化工程、生物无尘无菌工程等空气净化工程配套系统的设计安装及维护、室内装饰;各项性能指标均符合最新国际要求和GB50591-2010最新国家净化工程施工标准。

 千级洁净室工程

千级洁净室标准规格说明(一) 

  目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准209为多,今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

洁净室等级(Class)

微尘粒子

压力

温度

风速与换气率(次/hr)

照度lux

粒子大小um

粒子数目Particles/ft3

mmAg

值域℃

推薦值℃

误差值℃

最大MAX%

最小MIN%

误差%

层流方式0.35~0.55 m/s

1080

~

1620

1

≧0.5

≦1

>1.3

19.4~25

22.2

±2.8

 

±1.4

45

30

±10

 

±5

≧5.0

0

10

≧0.5

≦10

≧5.0

0

100

≧0.5

≦100

≧5.0

≦1

1000

≧0.5

≦1000

乱流方式≧20 次/hr

≧5.0

≦10

10000

≧0.5

≦10000

≧5.0

≦65

100000

≧0.5

≦100000

≧5.0

≦700

 

  至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出,读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

洁净度等级

微尘粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

单位

单位

单位

单位

单位

公制

英制

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

 

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

 

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

 

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

 

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

 

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

 

  美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m3)。其Class1,Class2...之数目字以0.1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得。

表1-3 日本JIS(9920 ~1989)标准

粒径级数

Class1

Class2

Class3

Class4

Class5

Class6

Class7

Class8

0.1

101

102

103

104

105

106

107

108

0.2

2

24

236

2,360

23,600

-

-

-

0.3

1

10

101

1,010

10,100

101,000

1,010,000

10,100,000

0.5

-

-

35

350

3,500

35,000

350,000

3,500,000

5.0

-

-

-

-

29

290

2,900

29,000

 

资料来源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

 

洁净室标准规格说明(二)

  在德国工业及医学等之多数领域中,洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术,因此在1967年完成了德国的洁净室规格,在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数,而以其中之指数n规定等级,如4*103 即表示等级为3,此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

表1-4 德国规格表

等级

微尘粒径(um)

与别国等级比较

0.5

1

5

美国

法国

3

4*103

1*103

-

100

4000

4

4*104

1*104

0.03*104

-

-

5

4*105

1*105

0.03*105

10000

400000

6

4*106

1*106

0.03*106

100000

4000000

 

表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值(个/ft3)(以0.5u粒子为依准)。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同,为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级,以期运用于工作上,故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算,如表1-6

表1-5 美国209D规定粒子数(上限值)

等级

Class1

Class10

Class100

Class1000

Class10,000

Class100,000

0.1

35(1,225)

350(12,250

-

-

-

-

0.2

7.5(263)

75(2,630)

750(26,300)

-

-

-

0.3

3(105)

30(1,050)

300(10,500)

-

-

-

0.5

1(35)

10(350)

100(3,500)

1000(35,000)

10,000(350,000)

100,000(3,500,000)

5.0

-

-

-

7

70

700

 

*()内之数值单位:个/M3

表1-6 美日洁净度级别换算

日本

美国

级别3

Class 1

级别4

Class 10

级别5

Class 100

级别6

Class 1000

级别7

Class 10000

级别8

Class 100000

 

  除了美国、日本、德国、之洁净室标准外,世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格,表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

表1-6 世界各国洁净度等级规格表

国名

美国

美国

日本

英国

德国

法国

澳洲

韩国

中国大陆

规格

FS209D

FS209E

JIS B 9920

BS 5295

VDI 2083

AFN 4410

AS 1386

KS

QJ2214

年度

1988

1992

1989

1989

1990

1981

1989

1991

1991

基准粒子(um)

0.5

0.5

0.1

0.5

1

0.5

0.5

0.3

0.1 0.5

单位

pcs/ft3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

Class

-

-

1

-

-

-

-

M1

0.1um ~1

-

M1

2

-

0

-

-

M10

0.1um ~5

1

M1.5

3

C

1

-

0.035

M100

0.1um ~10

10

M2.5

4

D

2

-

0.35

M1000

1

100

M3.5

5

E or F

3

4,000

3.5

M10000

100

1000

M4.5

6

G or H

4

-

35

M100,000

1,000

10,000

M5.5

7

I

5

400,000

350

M1,000,000

10,000

100,000

M6.5

8

J

6

4,000,000

3500

M10,000,000

100,000

-

M7

-

K

7

-

-

-

-

-

-

-

L

-

-

-

-

-

 

*以0.5um为区别。

 

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