高效过滤器检漏测试操作程序

1.0目的

通过检测高效过滤器的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷，如滤材中的小针孔，连接密封部位的缝隙等，以便及时采取补救措施。

2.0范围

适用于公司洁净室（区）的高效过滤器泄露的检查。

3.0职责

品管部检验员负责测试。

4.0程序

4.1测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法。

4.2测试位置：对于10000级至300000级洁净度要求的洁净室。包括：层流工作台、层流罩，以及设备上的高效过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。

4.2.1过滤器的滤材。

4.2.2滤材与其框架内部的连接。

4.2.3过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。

4.2.4支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。

4.3检测仪器

尘埃粒子计数器。

4.4检测程序：

4.4.1被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80~120%之间运行。

4.4.2用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm，以5~20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶、和安装框架处进行扫描。

4.4.3当周期为2min时，0.5μm粒子数≥20粒/L，表明泄漏量超标，需要修补或更换。

4.4.4用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检。

4.5检测频度

4.5.1在安装或更换高效过滤器时应进行检测。

4.5.2正常使用情况下，每年至少检测一次。

4.6被检过滤器要填写《高效过滤器检漏测试记录》。

5.0附件

《高效过滤器检漏测试记录》

6.0修改历史