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高效过滤器检漏测试操作程序
来源:http://www.rfilter.com/  发布时间:2014-01-09 09:44:13  点击数:2969

高效过滤器检漏测试操作程序

1.0目的

通过检测高效过滤器的泄漏量,发现高效过滤器及其安装的缺陷,如滤材中的小针孔,连接密封部位的缝隙等,以便及时采取补救措施。

2.0范围

适用于公司洁净室(区)的高效过滤器泄露的检查。

3.0职责

品管部检验员负责测试。

4.0程序

4.1测试方法:尘埃粒子计数扫描巡检法。

4.2测试位置:对于10000级至300000级洁净度要求的洁净室。包括:层流工作台、层流罩,以及设备上的高效过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。

4.2.1过滤器的滤材。

4.2.2滤材与其框架内部的连接。

4.2.3过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。

4.2.4支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。

4.3检测仪器

尘埃粒子计数器。

4.4检测程序:

4.4.1被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80~120%之间运行。

4.4.2用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm,以5~20mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶、和安装框架处进行扫描。

4.4.3当周期为2min时,0.5μm粒子数≥20粒/L,表明泄漏量超标,需要修补或更换。

4.4.4用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后,再进行扫描巡检。

4.5检测频度

4.5.1在安装或更换高效过滤器时应进行检测。

4.5.2正常使用情况下,每年至少检测一次。

4.6被检过滤器要填写《高效过滤器检漏测试记录》。

5.0附件

《高效过滤器检漏测试记录》

6.0修改历史

修改日期

修改人

修改内容

版本

/

/

2013.7.4编制第一版本

1.0

 

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